质量流量测量仪用于在工艺技术领域直接测量气体通过量。在体积流量测量仪中，还需要测量温度和压力或密度，因为气体的密度或体积会因压力的不同而发生变化。与之相反，质量流量的测量并不受压力和温度影响。8701 型数字式质量流量测量仪具有一个以硅芯片为基础的传感器（参见第 2 页的描述），该传感器直接处于旁路管道中。通过这种方式可以达到一个非常短的设备反应时间。当前流量会被作为模拟的标准信号输出或者通过 RS 通讯输出。可针对两种不同的气体对型号 8701 进行校准，用户可在两者之间进行转换。根据用户要求的不同，在选择与介质相接触的接头的材料时应确保，可利用所有的普通工艺气体运行设备。典型用途是，在检验机构、环境技术、医疗技术、分析结束中测量气体流量。

采用半导体技术的直接流量测量装置，适合额定流量范围 20 mlN/min 至 80 lN/min
高精度
反应快速
可选的现场总线
标称流量范围为0.010 l

N/min至

80升

N/分钟

???高精度

?响应速度非常快

?可选：现场总线接口

8701型质量流量计适用于测量

大流量范围。热MEMS传感器

直接位于气流中，因此

达到非常快的响应时间。

8701型可选择校准两个

不同的气体；用户可以在

这两种气体。作为电气接口，

模拟标准信号和现场总线

可用。

技术数据

标称流量范围1）

（列名）

1000万/分钟）至80升

N/min（氮气），

见第2页的表格

量程1:50（2?…?100?%），根据要求更高量程

工作气体中性，无污染气体，

其他按要求

带换算系数的标定气体工作气体或空气

   大工作压力

（入口压力）

10巴（145磅/平方英寸）

气体温度-?10?…?+?70°C（-?10?…?+?60°C，含氧）

环境温度-?10?…?+?50°C

准确度

（预热1分钟后）

读数的0.8%或

?0.3?%F.S.（满标度）

重复性±?0.1?%F.S。

响应时间（t95%）<300毫秒

材料

身体?

住房

海豹

铝或不锈钢

PC（聚碳酸酯）或金属

氟橡胶、三元乙丙橡胶

端口连接，美国标准锥管螺纹四分之一，G四分之一，旋入式配件或法兰，

其他按要求

电子。连接

此外，对于现场总线：

插头D-Sub 15针

带PROFIBUS DP：插座M12 5针

带CANopen：插座M15针

电源24 V DC

1） 标称流量值是可测量的标定   大流量值。这个

标称流量范围定义了可能的标称流量（满标度值）范围。

2） 指数N：流速参考1.013巴和0°C。

或者，有一个指数S，它是指1.013巴和20°C

质量流量传感器根据以下热原理工作：

具有提供独立于

压力和温度。

总气流的一小部分被转移到

设计旁路通道，确保层流条件。

传感器元件是浸入该流道壁中的芯片。

该芯片采用MEMS技术制造，包含一个加热电阻和

对称布置的两个温度传感器（热电堆）

加热器的上游和下游。的差动电压

热电堆是测量通过流量传感器的质量流量。

校准程序实现传感器的分配

通过装置的总流量信号。

关于单位选择的说明

流体相容性、正常入口压力和正确的

流量计量程的选择。MFM上的压降取决于流速和工作压力。