BURKERT8741型气体质量流量计

    BURKERT8741型气体质量流量计必要时可以设置为 MFC 或者 MFM，且规定用于 büS 或者 CANopen 网络中。büS 网络技术以 CAN 物理层为基础，Bürkert 特别为涉及多个控制回路（通过工业以太网或者其他现场总线加以驱动）的应用而对其进行了研发。型号为 ME2X 的系统控制单元将客户的以太网通信传输到所有者的 büS 中，并驱动所有相连的电子设备。设备之间的通信可以在 büS 和 CANopen 之间切换。借此，BURKERT8741型气体质量流量计也可以集成到现有的 CANopen 基础设施中。 8741 型借助 MEMS 传感器进行气体质量流量的测量（用作 MFM）或者调节（作为 MFC）工作。传感器直接接触气体，因而可以在几百毫秒之内极其快速地做出反应。此外，测量工作不受压力或者温度波动的影响。可以对 MFC/MFM 进行校准，使其用于测量/调节两种不同的气体，用户可以在这两种气体之间进行切换。

主要特点：
采用 MEMS 技术直接测量流量
测量和重复精度高
反应时间非常之短
现场总线通信基于 CANopen

    实际流量由传感器检测。这根据热原理工作，该原理具有提供独立于压力和温度的质量流量的优点。总气流的一小部分被切换到小的，专门设计的旁路通道中，以确保层流条件。传感器元件是芯片 浸入该流道的壁内。采用MEMS技术生产的芯片包含一个加热电阻器和两个对称布置在加热器上游和下游的温度传感器（热电堆）。热电堆的差分电压是通过流量传感器的质量流率的度量。校准过程实现了传感器信号与通过设备的总流量的分配。